2019年,我国透射电镜销售市场持续火爆,高档透射电镜意味着球差与冷冻电镜招标额度再度提升10亿人民币。线下推广大会“2019年全国各地电子显微学学术研讨会”与会者大幅度提高至1300余名,线上会议“第五届电子显微学网络会议(iCEM 2019)”也初次做到上千人。流行進口知名品牌市场竞争依然猛烈,陆续发布透射电镜新产品与新技术应用。国内透射电镜也慢慢乘势而上,中科科仪重特大仪器设备重点“场发送枪扫描仪透射电镜开发设计和运用”根据国家科技部工程验收,聚束高新科技透射电镜商品获得一部分高端客户的认同与购置,创立没多久的国仪量子科技也发布了透射电镜新产品。下列仪器信息网对2019年公布的流行透射电镜新产品开展统计分析,以窥探透射电镜技术性的最新消息动态性。
透射电镜:适用大试品、剖析提升、无漏磁
扫描仪透射电镜能够获得被测试品自身的各种各样物理学、物理性质的信息内容,商品技术性发展趋势使其被广泛运用于管理科学、生物科学等行业的科学研究,也可用以半导体材料生产制造、化工厂、原油等产业链行业。2019年,透射电镜依然是最活跃性的透射电镜类目,公布新产品总数数最多。新品各有特色,包含适用超大型/超载试品型(SU3800、SU3900)、配用显像技术性与即时元素分析融合技术性(Prisma E)、无漏磁型(JSM-F100、TESCAN CLARA)等。另外,创立三年的国仪量子科技也公布2款自主研发出彻底国内生产制造的SEM3000系列产品透射电镜。
日立高新科技大中型透射电镜SU3800与SU3900
中小型透射电镜SU3800(左),大中型透射电镜SU3900(右)
2019年4月发售的“SU3800”与“SU3900”,适用超大型/超载试品的观查,尤其是大中型透射电镜“SU3900”,可选装较大直徑300mm、较大载重5kg试品(比上代型号提升2.5倍)的试品台,即便是超大型试品也不用激光切割生产加工就可以观查。另外实际操作特性也获得了全方位升級。试品安裝进行后,根据全自动激光光路调节及各种各样全自动作用调节图象,接着可马上得到试品图象,真实完成了迅速观查。
前代型号是只是根据CCD导航栏照相机的单一数字图像找寻视线。新型则根据转动试品台,各自拍攝试品每个一部分,再将每个数字图像处理成1张开图象,完成了新视线的照相机导航栏观查,十分适用超大型试品的大范畴观查。
赛默飞世尔透射电镜Prisma E SEM
透射电镜Prisma E SEM
2019年5月发售的Prisma E SEM可配用Thermo Scientific ColorSEM技术性,该技术性将传统式的SE或是BSE显像技术性与即时元素分析融合,运用优秀优化算法, 及时在SEM图象上加上颜色意味着成分,融合样子,协助客户迅速开展原材料鉴别。ColorSEM技术性可出示重要的试品信息内容,进而完成更详细的原材料定性分析。Prisma E SEM是第一台适用一体化ColorSEM技术性开展形象化元素分析的钨钨丝扫描仪透射电镜,配备自然环境真空泵方式,并可灵便配备,多种多样零配件选择项可以达到各种各样要求。
Prisma E SEM 承继了原FEI企业完善的Quanta SEM技术性,并将系统软件便捷性、特性和协调能力提高到新的高宽比。其试品仓可容下大试品和大量探测仪选择项,全新升级试品台及试品托一次可载入高达18个试品,运用图象导航功能,可迅速搜索并精准定位试品。
日本电子器件无漏电磁场发送透射电镜JSM-F100
无漏电磁场发送透射电镜JSM-F100
2019年8月5日,日本电子器件全世界同歩公布最新款场发送透射电镜JSM-F100,除提升和提升性各类能以外,实际操作更为简约便捷,可更为迅速的得到图象及分析数据。
JSM-F100除开保存了寿命长射线管、300nA大电流量、髙速能谱仪EBSD剖析、无漏磁目镜、带磁试品高辨别观查和剖析等传统式优点;增加特性包含:透射电镜电镜一体化、即时化学成分分析、一键全自动作用、简约实际操作等。
泰思肯极高辨别场发送透射电镜CLARA
TESCAN CLARA 极高辨别场发送透射电镜
2019年8月5日, TESCAN公布极高辨别热场发送扫描仪透射电镜TESCAN CLARA。TESCAN CLARA可以达到多种多样科学研究和技术领域对不一样原材料开展高品质显像和定性分析的要求,应用了TESCAN BrightBeam 型SEM物镜,该物镜配备了可变性比例式静电感应-磁感应一氧化氮合酶镜,能够在低加快工作电压下完成无漏磁极高辨别显像,这针对包含带磁试品以内的各种试品具备普遍的可用工作能力。
配备4个新一代探测仪,可完成9种图象观察,对试品信息内容的收集更为全方位;配备大中型试品室,有超出20个拓展插口,为原点观察、剖析造就了优良的办公环境;能够配备 TESCAN 已有或第三方的多种多样拓展剖析配件,如EDS、EBSD、CL、EBL 及其完成与Raman联用。
国仪量子科技扫描仪透射电镜SEM3000与 SEM3000S
扫描仪透射电镜SEM3000(左),SEM3000S(右)
国仪量子科技自主研发的扫描仪电子器件透射电镜SEM3000/SEM3000S是一款应用钨钨丝的性能卓越扫描仪透射电镜,有着彻底独立专利权。观查纳米的外部经济构造,SEM3000变大倍率为20000倍,SEM3000S变大倍率达到150000倍。此型商品具备迅速拆换钨丝的优势,根据出色的电子器件激光光路设计方案及新式聚焦点系统软件,其屏幕分辨率各自好于25 nm 和10 nm。
SEM3000在全自动五轴试品台的相互配合下,十分适用生产制造品质管理流程及试品挑选,合适传统式显微镜没法满足需求的客户。SEM3000S选用了大开门大内腔设计方案,在100 mm自动式五轴试品台的相互配合下,是科学研究及新型材料产品研发的左膀右臂。
透射电镜:冷冻电镜紧凑型化、球差电镜无电磁场化
2019年透射电镜层面,赛默飞世尔一举发布三款新产品,分别是下一代冷冻电镜Krios G4、突显极端化弹性散射显像和剖析运用更普遍的Spectra 300,及其能够迅速得到各种类试品二维和三维化学信息的Talos。此外,日本电子器件与东京大学大学院工科系研究科附设综合性科学研究组织柴田直哉协作公布了无电磁场球差校准扫描仪透射电镜MARS型号的开发设计核心理念与一部分试验結果。
赛默飞世尔冷藏散射透射电镜Krios G4
冷藏散射透射电镜Krios G4
新一代 Thermo Scientific Krios G4冷藏透射电镜是该产品系列中设计方案最紧凑型的。根据对机械设备基座架构和机器设备机壳的全新升级设计方案,这款机器设备裸高减少至3 m之内,适用一切吊顶天花板高宽比在3.04 m(10 ft)之上的试验室,从而可省掉价格昂贵的试验室更新改造花费。
Krios G4 冷藏透射电镜开展了人体工学更新改造,试品拆换更非常容易。另外,数据信息采集工具设定起來也更便捷迅速,这都需要得益于高些的自动化技术水平及其系统化的操作指南和高級特性电脑监控软件(Advanced Performance Monitoring,APM),此软件内嵌了自确诊作用,保证透射电镜自始至终处在得到高辨别数据信息需要的最好校正情况。此外,新的光电子器件方式,改进的光电子器件特性和即时预备处理作用紧密结合,进一步提高系统软件的试验高效率和高辨别特性。
日本电子器件无电磁场球差校准透射电镜MARS
无电磁场球差校准透射电镜MARS
2019年5月24日,美国Nature Communications在线杂志宣布详细介绍了由东京大学大学院工科系研究科附设综合性科学研究组织柴田直哉与日本电子器件子株式联合开发的无电磁场球差校准扫描仪透射电镜MARS型号的开发设计核心理念与一部分试验結果。
试验数据信息看来,MARS测角侧旋球800μm×800μm×200μm室内空间电磁场遍布可被观查到,这一尺寸彻底遮盖球差透射电镜观查的试品本身。根据精确测量,试品上的残留电磁场低于0.1mT,比一般球差电镜低10000倍。一般状况下,带磁试品的拍攝存有2个难题:1)本身构造会被透射电镜的磁场环境毁坏,2)因为试品本身电磁场的危害,促使彻底清除目镜残留象散十分艰难。可是应用MARS型号,能够立即观查软带磁硅钢片试品(Fe-3wt%Si),获得了143pm的屏幕分辨率。
MARS型号还能够配用如电子器件全息投影、差分信号衬度STEM探测仪(SAAF)、层叠透射显像探测仪(5D Canvas)、动能损害谱(EELS)及其大固态角EDS。这类多功能设计方案,促使该机器设备将有着极大的应用前景。
赛默飞世尔扫描仪散射透射电镜Spectra 300
扫描仪散射透射电镜Spectra 300
Spectra 300包含三种灯源选择项:XFEG Mono,X-FEG UltiMono和X-CFEG,专为普遍的试品开展极端化弹性散射显像和剖析而设计方案。Spectra特别适合必须在分子水准上定性分析各种各样原材料的学术研究或工业生产试验室的科学研究工作人员。它容许她们生产制造质轻原材料,如优秀钢,铝合金型材或塑胶,用以开发设计更安全性或更节油的运送。Spectra还适用新半导体材料构造和原材料的科学研究,为将来的性能卓越电子元器件出示必需的搭建控制模块。
Spectra新的检验作用,使生物学家和技术工程师可以得到之前难以获得的弹性散射数据信息,以达到更普遍的运用要求。该服务平台能够得到极为光线比较敏感的原材料和半导体构造的详尽图象,包含金属材料有机化学架构,活性碳和高聚物,假如曝露在离子束中太长期或在不正确的工作电压下很有可能会毁坏或毁坏。它还达到了应用EDX(动能分散化X射线)或EELS(电子能量损害光谱仪)等多种多样方法对很多弹性散射化学成分分析的持续提高的要求。
赛默飞世尔散射透射电镜Talos
散射透射电镜Talos
为协助科学研究工作人员在低束流标准下更迅速地得到各种类试品(包含离子束比较敏感原材料)的二维和三维化学信息, Talos F200i扫描仪透射电镜(S/TEM)中改装了一对对称性设计方案的100 mm2 Racetrack能谱仪(双X射线)。这一升级提升了应用非对称加密EDS难以获得合理定量分析数据信息的短板,并能让科研工作者以更快的方法在(亚)纳米技术限度对原材料开展定性分析。
Talos着眼于让客户快速获得二维和三维数据信息,进而致力于研究发现。Talos 的配备合适进行原材料科学研究和生物科学科学研究,是一款结合了诸多自主创新技术性的多用途系统软件,可以在未来多年里达到学者的科学研究要求。
台式一体机透射电镜:效率高、易实际操作、高宽比逻辑思维能力
台式一体机扫描仪透射电镜除开运用于科学研究开发设计,也被广泛运用在工业生产行业的质量管理和产品质量检测。在精巧灵活的基本上,高些工作效能,更快、更非常容易实际操作及其高些水平的剖析和精确测量工作能力已变成台式一体机透射电镜的技术性发展前景。2019年,日本电子器件与日立高新科技各自公布2款台式一体机透射电镜,也各自顺从了这种技术性发展趋势要求。
日本电子器件台式一体机透射电镜JCM-7000
台式一体机透射电镜JCM-7000
为达到销售市场上日益提高的对进一步提高工作效能,更快、更非常容易实际操作及其高些水平的剖析和精确测量工作能力的要求,日本电子器件2019年3月开发设计了这个台式一体机透射电镜JCM-7000系列产品NeoScope,其作用是根据日本电子器件InTouchScope系列产品十分取得成功的技术性基本。
JCM-7000系列产品具备的自主创新作用可与InTouchScope系列产品相提并论,实际自主创新包含:1)简易实用的GUI完成高可执行性;2)占地小;3)从电子光学显微镜成像到具备“Zeromag”作用的透射电镜显像的无缝拼接衔接;4)图象观查期内的即时元素分析的“即时剖析”作用;5)两轴(X,Y)电动式服务平台,运作稳定。
日立高新科技台式一体机透射电镜TM4000plusⅡ
台式一体机透射电镜TM4000plusⅡ
日立TM4000Ⅱ透射电镜与众不同的低超滤装置促使试品不需一切解决就可以迅速开展观查。 TM4000Ⅱ提升出示8kV、10kV、15kV、20KV四种不一样工作电压下的观查方式,每个方式下电流量4档可调式,并配置四分割二次电子探测仪,可收集四个不一样方位的图象信息内容,对试品开展多种多样方式显像。具备全新升级的SEM-MAP导航功能,另外,透射电镜照片能够汇报方式导出来。配置大中型试品仓,可容下较大试品直徑80mm,薄厚50毫米。
TM4000PlusⅡ是在TM4000Ⅱ基本上提升高灵敏低真空泵二次电子摄像头UVD,该摄像头在低真空下具备非常好的显像品质。TM4000PlusⅡ可将二次电子图象和二次电子电子器件图象累加并即时开展表明,得到数最多的试品信息内容。TM4000PlusⅡ能够选装Multi Zigzag作用,可完成大范畴全自动持续照相和全自动拼图图片作用。
聚焦点电子束透射电镜:定性分析宽范畴、高辨别
近些年,伴随着纳米科技的发展趋势,纳米技术限度加工制造业发展趋势快速,聚焦点电子束(FIB)技术性被广泛运用对原材料开展纳米技术生产加工,相互配合透射电镜(SEM)等高线倍率透射电镜即时观查,变成纳米剖析、生产制造的关键方式。2019年有2款新产品发布会,分别是赛默飞世尔的Helios DualBeam ,及其泰思肯S8000服务平台的全新升级AMBER与AMBER X。
赛默飞世尔聚焦点电子束透射电镜Helios DualBeam
聚焦点电子束透射电镜Helios DualBeam
Helios Hydra 双束透射电镜为科学研究工作人员和技术工程师出示了定性分析宽范畴原材料的概率,及其在一台仪器设备中可挑选四种不一样离子源的融合工作能力,这将扩张跨限度原材料科学研究的运用室内空间。依靠亚纳米技术SEM显像技术性、S/TEM 纤薄样版制取工作能力及其精准的原型图作用,生物学家可以将 Helios NanoLab 作为理想化的科学研究专用工具,为将来的智能科技开发设计自主创新的新型材料和纳米技术数量级元器件。
Helios NanoLab 是一款更加灵活的服务平台,既可以很高的高效率制取 TEM 样版,又能进行性能卓越低压显像,以剖析高級逻辑性和储存器件。依靠自动化技术编码序列样版切削和显像作用,顾客能够建立二维编码序列图象,从而进行三维容量复建。具备非凡的 SEM 特性和靠谱、精准的 FIB 切成片工作能力,还配置了高精密压电式操作台。优异的显像工作能力,加上镜片内和柱内探测器出示的顶尖负色无损检测技术,可以完成非凡的饱和度。
泰思肯聚焦点电子束透射电镜AMBER与AMBER X
聚焦点电子束透射电镜TESCAN AMBER
2019年10月,泰思肯公布双束FIB-SEM新产品——TESCAN AMBER和TESCAN AMBER X,这2款新产品全是根据S8000服务平台的全新升级,是一款融合了高辨别剖析型FIB和极高辨别透射电镜的综合分析服务平台。TESCAN AMBER配备了无漏磁动态性加快BrightBeam 型极高辨别SEM物镜,针对剖析带磁试品、离子束比较敏感试品及其不导电性原材料等有很大优点。配备2套物镜内探测仪系统软件,具备多种多样SE和BSE检测方式。
TESCAN AMBER X的FIB应用了Xe低温等离子源,相较应用Ga正离子的FIB-SEM, 在一样工作中标准下,Xe正离子的功效速率为Ga正离子的50~60倍;另一方面,Ga正离子能够得到比Xe更小的束斑。
附1:2018年度我国市场透射电镜新产品汇总
附2 透射电镜有关仪器设备盛典
仪器设备类型
仪器设备盛典连接
透射电镜(SEM)
连接
散射透射电镜(TEM)
连接
聚焦点电子束光学显微镜(FIB-SEM)
连接
X射线能谱仪(EDS)
连接
电子器件二次电子透射系统软件(EBSD)
连接
透射电镜制样机器设备
连接
透射电镜配件及外接设备
连接